真空部件的介绍中篇

油封旋转式机械泵—EdwardRV5旋转机械泵

技术参数：

吸气量：5.0m3/h极限压力：10-2Pa油容量：0.42-0.7L；油号：ULtragrade19

法兰类型：KF法兰垫圈规格：KF25

优点：结构简单紧凑；风冷型，无需配置冷却水系统；可靠油分离与油循环系统，可长期连续工作；

具备抽除少量水蒸汽的能力；安装维护简单，运行成本低；安全，环保，排气洁净。

工作原理：工作旋片将转子，泵腔，两个端盖形成的月牙分成三部分，然后经过吸气过程，压缩过程，排气过程。通过泵的；连续运转，达到连续抽气的目的。

旋片作用：吸入气体压缩然后排出

油的作用：密封，润滑，散热，当气体压力较低，帮助打开气阀。

涡轮分子泵——PfeifferHipace分子泵

利用高速旋转的动叶轮将动量传给气体分子，使气体产生定向活动而抽气的真空泵。立式与卧式两种，主要由泵体，带叶片的转子（动叶轮），静叶轮与驱动系统等组成。

技术参数：

法兰类型：CF法兰法兰垫圈规格：CF（排气口：CF16）

抽速：N2:l/s(He:l/s,H2:l/s)

压缩比(N2):极限压力最高至：10-9Pa

转速：r/min0Hz质量：8.5Kg

优点：抽速大，无油，启动快，停泵快，气体输送能力强，高压力下性能良好，循环时间短，

适用于超高真空应用。

缺点：对颗粒物或沉积物敏感，噪音与振动，成本高，易损（轴承,叶轮）

泵的极限压力为10-9Pa,工作范围：10-1～10-8Pa

抽速几十到几千升每秒（一般在L/s以下），转速00～r/min。

工作条件要求

环境温度4～40°C，空气湿度小于85%，冷却水进水温度不高于25°C。不允许直接引入大气，强烈振动

涡轮分子泵：15～31级叶列串联组成，转子与定片叶片的倾斜面方向相反，转子高速旋转迫使气体分子通过叶片从泵的上部流向出口，产生抽气作用。气体分子经过第一个动轮叶作用，经过碰撞获得近于轮叶的切向速率，从而进入第二个动轮叶，由于气体分子与动轮叶间几乎没有相对速率，因此动轮叶对气体分子不起作用，当分子进入静轮叶，则因两者有相对速率，就能发生碰撞并有往下飞行的运动分量。从而逐级运动被抽出。靠近高真空进气口的几级叶片与接近排气口的几级叶片性质不同，进气口附近的叶片组设计成高抽速低压比，排气口附近的叶片设计成低抽速高压比。

钛升华泵

钛升华泵的抽气机理为化学吸附，分为吸气面，升华器，控制器三部分。升华器升华的钛沉积在冷的泵体壁面上，形成新鲜的钛膜，与N，O，CO等活性气体有比较强烈的吸附作用，形成TiN,TiO,TiC等稳定化学物。

技术参数

极限压力可达10-9Pa，工作压力范围：10-2～10-8Pa，启动压力：1～10-2Pa

优点:结构简单，抽速大（L/S），无油污染，无振动噪音。缺点：灯丝寿命较短，惰性气体无法抽除。

组件规格：

1offCU38copperGasket

6offsccscrewcapheadM3×8mm

1offST22FTSPFilamentset(3off)